FABRICATION OF OPTICAL WAVEGUIDES

摘要

Les couches de guidage de guides d'ondes optiques sont formées de verre d'arsénosilicate (ASG). En faisant varier la teneur en arsenic entre 2 et 13 moles %, il est possible de faire varier l'indice de réfraction dans la plage comprise entre 1,45 et 1,53. On peut utiliser pour les couches de revêtement de la silice pure ou de l'ASG dopé moins fortement. L'ASG résulte de préférence d'une réaction hétérogène entre du silane et de l'oxygène en présence d'arsine. Cette réaction peut s'effectuer à des températures minimales de 390oC, l'ASG pouvant être utilisé sur des substrats de composées III-V.