Verfahren zur TEM-Lamellen-Herstellung und Anordnung für TEM-Lamellen-Schutzvorrichtung

摘要

Ein Verfahren zur Herstellung einer TEM-Lamelle umfasst ein Anordnen einer selbsttragenden Schutzvorrichtung auf einer Oberfläche eines Substrats; ein Verbinden der Schutzvorrichtung mit dem Substrat; ein Herausschneiden einer Lamelle aus dem Substrat mittels eines Partikelstrahls so, dass die Lamelle mit wenigstens einem Teil der Schutzvorrichtung verbunden bleibt; ein Verbinden eines ersten Werkzeugs mit der Lamelle; und ein Entfernen der Lamelle von einem verbleibenden Teil des Substrats durch Bewegen des ersten Werkzeugs relativ zu dem Substrat.