摘要 |
Eine Projektionsoptik (7) dient zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8). Eine Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M8) dient zur Führung von Abbildungslicht (3) vom Objektfeld (4) zum Bildfeld (8). Mindestens zwei der Spiegel (M1 bis M8) sind als im Strahlengang des Abbildungslichts (3) direkt hintereinander angeordnete Spiegel (M2, M3; M5, M6) für streifenden Einfall mit einem Einfallswinkel des Abbildungslichts (3) ausgeführt, der größer ist als 60 °. Es resultiert eine abbildende Optik mit einem gut korrigierten abbildbaren Feld bei gleichzeitig hohem Abbildungslicht-Durchsatz. |