发明名称 Projektionsoptik zur Abbildung eines Objektfeldes in ein Bildfeld sowie Projektionsbelichtungsanlage mit einer derartigen Projektionsoptik
摘要 Eine Projektionsoptik (7) dient zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8). Eine Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M8) dient zur Führung von Abbildungslicht (3) vom Objektfeld (4) zum Bildfeld (8). Mindestens zwei der Spiegel (M1 bis M8) sind als im Strahlengang des Abbildungslichts (3) direkt hintereinander angeordnete Spiegel (M2, M3; M5, M6) für streifenden Einfall mit einem Einfallswinkel des Abbildungslichts (3) ausgeführt, der größer ist als 60 °. Es resultiert eine abbildende Optik mit einem gut korrigierten abbildbaren Feld bei gleichzeitig hohem Abbildungslicht-Durchsatz.
申请公布号 DE102014208770(A1) 申请公布日期 2015.01.29
申请号 DE201410208770 申请日期 2014.05.09
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 SCHWAB, MARKUS
分类号 G02B17/06;G03F7/20 主分类号 G02B17/06
代理机构 代理人
主权项
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