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经营范围
发明名称
Method of determining focus, inspection apparatus, patterning device, substrate and device manufacturing method
摘要
申请公布号
IL236134(D0)
申请公布日期
2015.01.29
申请号
IL20140236134
申请日期
2014.12.08
申请人
ASML NETHERLANDS B.V.
发明人
分类号
G03F
主分类号
G03F
代理机构
代理人
主权项
地址
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