| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass, einem um eine Rotationsachse drehbaren Rotor, wenigstens einer Prozessgaspumpstufe zur Förderung eines an dem Pumpeneinlass anstehenden Prozessgases von dem Pumpeneinlass zu dem Pumpenauslass, einem Motorraum und einem in dem Motorraum angeordneten und zum drehenden Antreiben des Rotors ausgebildeten Antriebsmotor, welcher einen Motorstator umfasst, wobei wenigstens ein Gasweg für das Prozessgas von dem Pumpeneinlass zu dem Pumpenauslass vorgesehen ist, der durch den Motorraum führt und zumindest abschnittsweise an dem Motorstator entlang oder durch den Motorstator hindurch führt.</p> |
