| 摘要 |
<p>【課題】フラット基板を並行して走査する複数の光学検査モジュールを利用する検査システムを提供する。【解決手段】検査システム２０は、フラット基板２２を、走査領域を通して走査方向に受けて、搬送するよう構成されるテーブル２４を含む。走査ブリッジ３２は、走査領域の上に取り付けられ、走査方向を横切るレール方向に走査領域を渡って延びる２または３以上の平行レールを含む。第１の複数のマウントは、レールのそれぞれに沿って選択間隔だけ離間するそれぞれの位置でレールに固定され、位置および間隔は、レールに沿ってマウントをスライドすることにより調整することができる。第２の複数の光学検査モジュール３４は、それぞれの位置でマウントにそれぞれ固定されて、走査領域内でフラット基板のそれぞれの区域の画像を取り込む。【選択図】図１</p> |
