| 摘要 |
<p>Fügeverbindung zwischen zwei Elementen, wie einem Target und einer Rückplatte einer Plasmaquelle, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Rückplatte (2) und dem Target (1) eine Metallschaumplatte (3) mit dreidimensionaler metallischer Struktur zwischen zwei miteinander zu verbindenden Flächen der Rückplatte (2) und dem Target (3) angeordnet ist, wobei die Metallschaumplatte (3) zumindest oberflächlich mit einem Klebstoff getränkt oder beschichtet ist.</p> |
