| 摘要 |
<p>【課題】処理液の吐出量を所定量に設定するにあたり作業員が介在せずに成膜プロセスに求められる所望の吐出量の設定が行なえる処理液供給回路を提供する。【解決手段】処理液の液供給タンク１１から液供給ノズル２４までの間に構成される処理液供給回路において、液供給タンクから供給配管１３を通じて供給される処理液を一旦貯留するバッファタンク１４と内部に設けられて処理液を溜める液受け容器を有して液受け容器内の処理液の重量を計測する重量計測手段１６と、所定量の処理液を吸液した後に液供給ノズル２４に向けて送液する供給ポンプ１９と、供給ポンプに吸液された処理液の量を重量計測手段１６で計測された処理液の重量により演算する制御部Ｃと、を備える。【選択図】図１</p> |
