发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UNE JONCTION JOSEPHSON ET JONCTION JOSEPSON ASSOCIEE
摘要 L'invention concerne un procédé de fabrication d'une jonction Josephson (10) comprenant : - une étape de fourniture d'un substrat (12), s'étendant le long d'une direction longitudinale (d1), - une étape de dépôt d'une couche supraconductrice (14) sur le substrat (12) de sorte que cette couche (14) s'étende depuis le substrat (12) dans une direction transversale (d2), perpendiculaire à la direction longitudinale (d1), et - une étape d'irradiation d'ions dans une zone centrale (24) de la couche (14) définie dans la direction longitudinale (d1), le procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte, préalablement à l'étape d'irradiation : - une étape d'enlèvement d'une partie de la zone centrale (24) de la couche supraconductrice (14) de manière à délimiter un ensemble de zones (20, 22, 24) de la couche supraconductrice (14) alignées dans la direction longitudinale (d1) comportant la zone centrale (24) et deux zones latérales (20, 22).
申请公布号 FR3011389(A1) 申请公布日期 2015.04.03
申请号 FR20130002280 申请日期 2013.10.01
申请人 THALES 发明人 CRETE DENIS;MARCILHAC BRUNO;LEMAITRE YVES
分类号 H01L39/22 主分类号 H01L39/22
代理机构 代理人
主权项
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