晶片对资料库的影像检测方法;IMAGE INSPECTION METHOD OF DIE TO DATABASE

摘要

一种晶片对资料库的影像检测方法并可选择整个晶圆中欲检查之各晶片位置。在此方法中，先选择一晶圆中欲检查之多个晶片位置中的数个检查区域，再取得所述检查区域的实际影像，并对所述实际影像的位置进行解码。然后，对所述实际影像进行影像萃取，以得到数个影像轮廓，随后比对所述轮廓与上述晶片的设计资料库，以得到缺陷检测的结果，并可实施到整个晶圆。