摘要 |
금본딩 와이어보다 저렴하고 안정적으로 볼 본딩법과 스터드 범프법의 조합에 의한 접속이 가능한 은본딩용 와이어로 한다. Ag를 주성분으로 하고, Au의 첨가량을 0.9 질량% 이상 2.6 질량% 이하, Pd의 첨가량을 0.1 질량% 이상 1.5 질량% 이하, Au와 Pd의 첨가량의 합계를 1.0 질량% 이상 3.0 질량% 이하, Au와 Pd의 첨가량의 합계를 1.0 질량% 이상 3.0 질량% 이하, Ca, 희토류 원소에서 선택되는 1종 이상의 원소를 합계로 20 질량ppm 이상, 500 질량ppm 이하, Cu, Ni에서 선택되는 1종 이상의 원소를 합계로 1000 질량ppm 이상 10000 질량ppm 이하의 와이어(W)이다. 그 와이어(W)의 0.2% 내력과 와이어(W)의 인장 강도의 비가 90% 이상, 와이어(W)의 고유 저항은 3.0 μΩㆍcm 이하이다. |