赤外線レーザーズームビーム拡大システム及びレーザー加工機器

摘要

レーザー加工の分野に適用される赤外線レーザーズームビーム拡大システムは、第１のレンズ、第２のレンズ、及び第３のレンズを含む。第１のレンズ及び第３のレンズは平凸正レンズであり、第２のレンズは凹凸負レンズである。第１のレンズ、第２のレンズ及び第３のレンズはそれぞれ、第１の面及び第２の面、第３の面及び第４の面並びに第５の面及び第６の面を含む。第１の面から第６の面の曲率半径は、∞、−２７、１０、１，７、∞、−１０３である。第１のレンズから第３のレンズの中心厚みは、２、１、４である。第１のレンズから第３のレンズの外径は、１０、３、３４である。第１のレンズから第３のレンズの屈折率対アッベ数の比率は、１．８：２５、１．４８：６８、及び１．８：２５である。第２の面と第３の面の間の距離は１０〜２７である。第４の面と第５の面の間の距離は１１９〜１２５である。単位はｍｍであり、許容差は５％である。本システムは、２〜１６倍の入射光に対するビーム拡大を行なうことができ、これにより、異なる出射直径及び発散角を有するレーザーデバイスに適応可能であり、レーザー加工の効率及び精度を改善することができる。【選択図】図１