热处理方法及热处理装置

主权项

一种热处理方法，其特征在于其系藉由向基板照射光而加热该基板者，且包括：预备加热步骤，以特定之预备加热温度加热基板；及闪光加热步骤，自闪光灯向上述基板之一面照射闪光，将上述一面加热至目标温度；且上述闪光加热步骤中之闪光照射时间相较于自上述一面向作为与上述一面为相反侧之面之另一面之热传导所需的热传导时间更长，上述闪光加热步骤中之上述一面与上述另一面之温差为自上述预备加热温度至上述目标温度为止之升温温度之一半以下。