ＥＵＶ放射線発生装置および該ＥＵＶ放射線発生装置のための運転法

摘要

本発明は、ＥＵＶ放射線発生装置（１）であって、ＥＵＶ放射線（１４）を発生させるために、ターゲット材料（１３）がターゲット位置（Ｚ）に配置可能である真空チャンバ（４）と、レーザビーム（５）を駆動レーザ装置（２）からターゲット位置（Ｚ）に向かってガイドするためのビームガイドチャンバ（３）とを有しているＥＵＶ放射線発生装置に関する。該ＥＵＶ放射線発生装置（１）は、真空チャンバ（４）とビームガイドチャンバ（３）との間に設けられた中間チャンバ（１８）と、レーザビーム（５）をビームガイドチャンバ（３）から入射させるための、中間チャンバ（１８）をガス密に閉鎖する第１の窓（１９）と、レーザビーム（５）を真空チャンバ（４）内に出射させるための、中間チャンバ（１８）をガス密に閉鎖する第２の窓（２０）とを有している。本発明は、ＥＵＶ放射線発生装置（１）を運転する方法にも関する。