| 摘要 |
기판 처리 장치의 토출 검사부는, 광 출사부와, 촬상부를 구비한다. 광 출사부는, 미리 정해진 광 존재면을 따라서 광을 출사하고, 토출 헤드의 복수의 토출구로부터 토출된 처리액에 광을 조사한다. 촬상부는, 광 출사부로부터의 면형상 광을 통과하는 처리액을 촬상하여, 복수의 휘점을 포함하는 검사 화상을 취득한다. 토출 검사부에서는, 판정 프레임 설정부에 의해, 검사 화상 상에 있어서 복수의 토출구에 대응하는 복수의 정상 토출 판정 프레임이 설정된다. 그리고, 판정부에 의해, 각 정상 토출 판정 프레임 내에 있어서의 휘점의 존재 여부 정보가 취득되어, 해당 존재 여부 정보에 의거하여 각 정상 토출 판정 프레임에 대응하는 토출구에 있어서의 토출 동작의 양부가 판정된다. 이에 따라, 복수의 토출구의 각각에 있어서의 토출 동작의 양부를, 개별적으로 정밀도 좋게 판정할 수 있다. |
