| 发明名称 |
SUPPLY SOURCE AND METHOD FOR ENRICHED SELENIUM ION IMPLANTATION |
| 摘要 |
동위원소 농축 셀레늄 함유 소스 물질을 이온 주입하는 신규 방법이 제공된다. 소스 물질을 선택하고, 셀레늄의 특정 질량 동위원소로 농축시키며, 여기서 농축은 천연 존재비 수준을 초과한다. 본 발명의 방법은 감소된 기체 소모량 및 감소된 폐기물을 가능하게 한다. 소스 물질은 바람직하게는 대기압 미만의 저장 및 운반 장치로부터 저장되고 운반되어, 셀레늄 이온 주입 공정 동안 안전성 및 신뢰도를 향상시킨다. |
| 申请公布号 |
KR20150125018(A) |
申请公布日期 |
2015.11.06 |
| 申请号 |
KR20157031009 |
申请日期 |
2014.05.01 |
| 申请人 |
PRAXAIR TECHNOLOGY INC. |
发明人 |
HEIDERMAN DOUGLAS C.;SINHA ASHWINI K.;BROWN LLOYD A. |
| 分类号 |
H01J37/317;C23C14/00;F17C1/00;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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