| 摘要 |
<p>【課題】薄いウェハーの制作と移送を円滑にできるようにするウェハーエッチングシステム及びそれを用いたウェハーエッチング工程を提供する。【解決手段】本発明はウェハーを機械的にエッチングするウェハーグラインディング装置と、前記ウェハーグラインディング装置からエッチングされたウェハーを整列させるアライナと、前記アライナに整列されたウェハーを再度エッチングする乾式エッチング装置と、前記アライナと前記乾式エッチング装置との間で前記ウェハーを移送させるウェハー移送装置と、前記乾式エッチング装置からエッチングの完了されたウェハーにテーピング作業を実施するようにするテープマウンタと、を含む。【選択図】図１</p> |
