| 发明名称 |
热处理装置 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI509079 |
申请公布日期 |
2015.11.21 |
| 申请号 |
TW102140995 |
申请日期 |
2013.11.12 |
| 申请人 |
光洋热系统股份有限公司 |
发明人 |
中西裕也;笠次克尚;岩野健二;浦崎义彦;池田真一 |
| 分类号 |
C21D1/00;F27D7/02;H01L21/324 |
主分类号 |
C21D1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼 |
| 主权项 |
一种热处理装置，其特征在于具备有：通道，其可使被加热之气体通过；气流调整构件，其可对朝向可配置被处理物之处理室而通过上述通道之气流进行调整；及操作装置，其可自上述通道的外部对上述气流调整构件进行操作；上述气流调整构件系包含有用于调整封闭上述通道的比例之遮板构件，上述遮板构件系设置复数个，上述操作装置系设置复数个，复数个上述操作装置系可对所对应之上述遮板构件进行操作。
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| 地址 |
日本 |
