发明名称 |
边缘扫描和对齐 |
摘要 |
提供了一种用于在基板中进行激光钻孔的方法。多边形镜切割面的位置是由第一传感器确定的,以及设置在运输带上的基板的位置是由第二传感器确定的。所述镜切割面和所述基板的位置是基于分别用第一传感器和第二传感器确定的时间输入而同步的。可通过移动运输带来改变所述基板的位置,以便在激光钻孔之前使所述基板的位置与所述切割面的位置同步。当所述镜切割面和所述基板的位置已经同步时,可触发激光。所述激光可在基板中形成一或多行孔。 |
申请公布号 |
CN105161567A |
申请公布日期 |
2015.12.16 |
申请号 |
CN201510218956.3 |
申请日期 |
2015.04.30 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
J·L·富兰克林;Y·郑;L·德桑蒂;T·沃尔克斯 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
黄嵩泉 |
主权项 |
一种在基板上激光钻孔的方法,所述方法包括以下步骤:确定一或多个多边形镜切割面的位置,其中所述多边形镜切割面绕轴旋转;以第一速度在第一方向上传递所述基板;当所述基板以所述第一速度传递时,确定所述基板已经沿着所述第一方向到达第一位置;将所述基板的速度从所述第一速度改变至第二速度,以便当所述一或多个多边形镜切割面位置中的一个位置定位成将从电磁来源传递的电磁能反射至所述基板上的所需区域时,所述基板沿着所述第一方向处于第二位置;以及当所述一或多个多边形镜切割面中的一个切割面定位成将所述电磁能反射至所述基板上的所述所需区域时,将电磁能提供至所述一或多个多边形镜切割面中的所述一个切割面。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |