| 发明名称 | 一种玻璃基底的多模波导阵列耦合结构及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种玻璃基底的多模波导阵列耦合结构及其制作方法，所述多模波导阵列耦合结构包括：玻璃基底，制作有多模波导，所述多模波导间隔设置，所述玻璃基底的第一端面切割有45度的倾角，使得所述多模波导的端部被处理成45度的反射结构；波导盖片，盖设于所述多模波导的顶面。本申请通过将具有多模波导的玻璃基底切割有45度的倾角，使得所述多模波导的端部被处理成45度，由于玻璃基底切割以及研磨的工艺成熟，因此能够大规模生产、易于实现，解决了采用直接耦合时光纤研磨的质量和耦合效率很难控制的技术问题。 | ||
| 申请公布号 | CN105158848A | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201510530375.3 | 申请日期 | 2015.08.26 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | 发明人 | 刘丰满;曹立强;郝虎 |
| 分类号 | G02B6/122(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I | 主分类号 | G02B6/122(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人 | 刘杰 |
| 主权项 | 一种玻璃基底的多模波导阵列耦合结构，其特征在于，所述多模波导阵列耦合结构包括：玻璃基底，制作有多模波导，所述多模波导间隔设置，所述玻璃基底的第一端面切割有45度的倾角，使得所述多模波导的端部被处理成45度的反射结构；波导盖片，盖设于所述多模波导的顶面。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||