ARCUATE MOTION CONTROL IN ELECTROSTATIC ACTUATORS

摘要

일 실시예에서, 액추에이터는 제조상태 위치와 전개된 위치 사이에서 고정 프레임에 대해 대략 평행 모션을 위해 복수의 길쭉한 평행 모션 플렉셔에 의해 고정 프레임에 결합된 이동 프레임을 포함한다. 플렉셔들은 이동 프레임이 제조상태에 배치될 때 고정 프레임과 이동 프레임 둘 다에 대해 수직으로 연장하는 선에 대해 제1 각도로 배치되고, 이동 프레임이 전개된 위치에 배치될 때 동일 선에 대해 제2 각도로 배치된다. 제2 프레임에 대한 제1 프레임의 아치형 움직임은 제1 각도와 제2 각도의 합의 약 절반보다 작은 값으로 제1 각도를 제한함으로써 제어된다.