| 摘要 |
<p>본 발명은 복수의 기판을 예열 및 냉각 처리하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 기판 처리 시스템은 기판이 로딩되는 위치로부터 언로딩되는 위치까지 이동하는 이동시간동안 순차적으로 로딩되는 복수의 기판을 예열 처리하는 다중기판 예열 처리부; 상기 다중기판 예열 처리부로부터 전송된 기판을 소정의 공정으로 처리하는 공정 처리부; 상기 처리부로터 전송된 기판을, 상기 기판이 로딩되는 위치로부터 언로딩되는 위치까지 이동하는 이동시간동안 순차적으로 로딩되는 복수의 기판을 냉각 처리하는 다중기판 냉각 처리부; 및 상기 다중기판 예열 처리부, 상기 공정 처리부 및 상기 다중기판 냉각 처리부 사이에서 기판을 전송하는 전송부를 포함한다. 본 발명의 기판 처리 시스템에 의하면, 평면상에 차지하는 설치 면적을 증가시키지 않으면서 다량의 기판을 예열 및 냉각 처리하여 생산성을 향상 시킬 수 있다.</p> |
