一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉，包括炉体、坩埚、真空装置、加热装置、保温套筒、升降装置；所述炉体内所述升降装置，所述升降装置上设有所述隔热板；所述隔热板上设有所述坩埚；所述坩埚外壁由内向外依次环绕着加热装置和保温套筒；所述真空装置设于所述炉体外，并与所述炉体通过真空管路连接。本实用新型中坩埚外壁由内向外依次环绕着加热装置和保温套筒使得加热装置用于对坩埚直接加热，避免了大面积加热造成的能源浪费，保温套筒用于使得加热装置发出的热量只用于坩埚加热，从而保证了加热的有效性及温度场的均匀性。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，其特征在于：包括炉体、坩埚、真空装置、加热装置、保温套筒、升降装置；所述炉体内设有所述升降装置，所述升降装置上设有所述隔热板；所述隔热板上设有所述坩埚；所述坩埚外壁由内向外依次环绕着加热装置和保温套筒；所述真空装置设于所述炉体外，并与所述炉体通过真空管路连接。