用于液晶显示装置的阵列基板及其制造方法

摘要

用于液晶显示装置的阵列基板，包括：在基板上彼此交叉以限定像素区域的栅线和数据线；与栅线隔开且平行的公共线；薄膜晶体管，位于像素区域中且与栅线和数据线相连；钝化层，位于薄膜晶体管上；以及像素电极和公共电极，交替布置以产生共面电场，其中像素电极和公共电极的每个都具有双层结构，即下层由反射性导电材料形成，上层由透明导电材料形成。另一方面，阵列基板的制造方法，包括：在基板上形成第一厚度的反射性导电层；在H₂O气体条件下在反射性导电材料层上形成第二厚度的透明导电材料层；在透明导电材料层上形成光刻胶图案；以及使用光刻胶图案作为蚀刻掩模蚀刻透明导电材料层和反射性导电材料层，从而形成双层的像素电极和公共电极。

主权项

一种用于液晶显示装置的阵列基板，所述阵列基板包括：栅线和数据线，所述栅线和所述数据线在基板上彼此交叉以限定像素区域；公共线，所述公共线与所述栅线隔开并且平行；薄膜晶体管，所述薄膜晶体管位于像素区域中并且与所述栅线和数据线连接；钝化层，所述钝化层位于所述薄膜晶体管上；以及像素电极和公共电极，所述像素电极和公共电极交替布置以产生共面电场，其中所述像素电极和公共电极中的每个都具有双层结构，即下层由反射性导电材料形成，上层由透明导电材料形成，其中所述下层具有至的厚度，所述上层具有至的厚度，并且其中所述上层比所述下层厚。