| 发明名称 | 合成石英玻璃基板抛光浆料和利用该抛光浆料制造合成石英玻璃基板 | ||
| 摘要 | 一种包括胶原衍生物和胶体溶液的抛光浆料，其有效抛光合成石英玻璃基板。其防止具有可被高灵敏度缺陷探测仪检测到的尺寸的缺陷的形成。 | ||
| 申请公布号 | CN102516872B | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201110286406.7 | 申请日期 | 2011.07.26 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 松井晴信;原田大实;竹内正树 |
| 分类号 | C09G1/02(2006.01)I;B24B29/02(2006.01)I | 主分类号 | C09G1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 任宗华 |
| 主权项 | 用于合成石英玻璃基板的抛光浆料，包括为明胶或胶原肽的胶原衍生物和具有胶体二氧化硅浓度为重量百分比20至50％的为胶体二氧化硅分散液的胶体溶液，所述的抛光浆料具有pH值为8至11，其中基于所述胶体二氧化硅的固体重量，胶原衍生物的含量为0.001‑5％。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||