一种电子级溶液的充装系统

摘要

本发明涉及一种电子级溶液的充装系统，包括预处理机构、风淋机构和充装机构，所述预处理机构包括预处理室和吹扫装置，所述风淋机构包括风淋室、干燥空气加热装置和第一风机，所述充装机构包括充装室、进风装置、进液装置和充装装置，所述进风装置包括第二风机、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，所述进液装置包括充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路，所述充装装置包括机械夹具和充装接头，所述预处理室、风淋室和充装室依次连通设置。本发明的电子级溶液的充装系统，尤其适用于电子级氢氟酸的充装；具有合理有效、有效提高待充装的空桶的内部和外部洁净程度、充装方便、以及有效避免溶液污染的有益效果。

主权项

一种电子级溶液的充装系统，其特征在于，包括预处理机构、风淋机构和充装机构，所述预处理机构包括预处理室和吹扫装置，所述吹扫装置设置于预处理室内，所述风淋机构包括风淋室、干燥空气加热装置和第一风机，所述第一风机的入口朝向风淋室外设置，所述第一风机的出口与干燥空气加热装置的入口连接，所述风淋室的顶部和侧面分别设有风淋口，所述干燥空气加热装置的出口与所述风淋口连通，所述风淋室的底部设有排风口，所述充装机构包括充装室、进风装置、进液装置和充装装置，所述充装室的顶部设有进风管道和充装管道，所述进风装置包括第二风机、初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，所述初效过滤器、第二风机、中效过滤器和高效过滤器依次连接，所述高效过滤器的出口与进风管道连通，所述充装室的底部设有出风口，所述进液装置包括充装管路、高纯水管路、导气管路和废液抽排管路，所述充装装置包括机械夹具和充装接头，所述机械夹具可旋转地设置于充装室顶部且沿充装室顶部方向可升降设置，所述充装接头上设有导气口和充装口，充装接头的一端与机械夹具连接，充装接头的另一端分别与导气口和充装口连通，所述导气管路通过充装管道与导气口连接，所述充装管路、高纯水管路和废液抽排管路分别通过充装管道与充装口连接，所述预处理室、风淋室和充装室依次连通设置。