单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置，组成包括主罐体、主罐体上盖、毛刷固定架、毛刷、丝杆升降器、进出口管道组件、储气罐；所述过滤罐内含有滤芯、毛刷，主罐体上盖设有毛刷旋转机构；所述上盖提升机构，包含丝杆升降器、提升架。主罐体与丝杆升降器连接，丝杆升降器与提升架连接，提升架与主罐体上盖连接；所述储气罐与脉冲阀连接，脉冲阀与主罐体之间通过波纹管连接；所述进出口管道组件中出气接口与真空泵连接，应急接口与备用的自动清灰除尘罐连接。炉内的毛刷做间歇旋转运动，清理滤芯表面粉尘。又用储气罐内的气体喷吹除尘罐内的滤芯。毛刷和喷气清理同时进行，清理彻底，效率高，清理操作的自动化程度高，操作方便，使用安全。

主权项

一种单晶硅生长炉真空尾气自动除尘装置，其特征在于：包括主罐体(1)、主罐体上盖(2)、提升架(6)、丝杆升降器(7)、储气罐(11)、进出口管道组件(13)、毛刷(19)、毛刷固定架(20)；所述主罐体上盖(2)设有动力机构，该机构包含电机(3)、磁性联轴(5),电机(3)与磁性联轴器(5)通过同步带(4)连接，磁性联轴器(5)与主罐体上盖(2)连接，磁性联轴器主轴(21)直接伸入罐内与毛刷固定架(20)连接，毛刷(19)分别安装在毛刷固定架(20)上；所述主罐体(1)与丝杆升降器(7)连接，提升架(6)与丝杆升降器(7)连接，主罐体上盖(2)与提升架(6)连接；所述储气罐(11)与脉冲阀(12)连接，脉冲阀(12)与主罐体(1)之间通过波纹管(14)连接；所述进出口管道组件包含出气接口(10)、进气接口(15)、截止阀(16)、备用应急接口(17)，进气接口(15)与单晶炉连接，出气接口(10)与真空泵连接。