发明名称 用于直接电气加热流通式化学反应器之方法与装置;METHOD AND APPARATUS FOR A DIRECTLY ELECTRICALLY HEATED FLOW-THROUGH CHEMICAL REACTOR
摘要 本发明提供一种用于促进一化学反应之系统及方法。该系统可具有一导电部件。该导电部件能够容纳一化学混合物。该导电部件直接耦合至一电源且在该电源接通时经加热。当一化学混合物处于该导电部件内且该电源接通时,该化学混合物经加热,使得可发生一化学反应。
申请公布号 TW201546325 申请公布日期 2015.12.16
申请号 TW104105420 申请日期 2015.02.16
申请人 MKS仪器公司 MKS INSTRUMENTS, INC. 发明人 希渥特 琼安尼斯 SEIWERT, JOHANNES;高特史渥克 克里斯堤 GOTTSCHALK, CHRISTIANE;劳尔 裘奇 LOHR, JOACHIM;布拉洽 马丁 BLACHA, MARTIN
分类号 C23C16/56(2006.01);B01J19/08(2006.01);B01J19/24(2006.01);C01B13/02(2006.01);B01D53/66(2006.01);H01L21/67(2006.01) 主分类号 C23C16/56(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国 US