一种液体喷头及其制造方法

摘要

本发明涉及一种液体喷头及其制造方法，液体喷头包括：硅基板；设置在硅基板表面的液体腔室；设置在液体腔室内部的两端固定的两端支持梁压电元件；设置在硅基板上的供墨通道；和与液体腔室连通的喷嘴孔；液体腔室和喷嘴孔共同由设置在硅基板表面上的一个或多个高分子膜层形成。高分子膜层容易加工而且不易碎裂，在制造上一体成型，可以获得高效率、高精度、低成本的产品，从而可以用低成本来高精度的制造出高密度喷嘴孔排列的两端支持梁结构的液体喷头。解决了现有液体喷头成品率低、制造成本高和打印质量低的技术问题。

主权项

一种包括一个硅基板和设置在所述硅基板表面的液体腔室和设置在所述液体腔室内部的两端固定的两端支持梁压电元件和设置在所述硅基板上的供墨通道以及与所述液体腔室连通的喷嘴孔结构的液体喷头的制造方法，其特征是，包括如下步骤：一、在硅基板上形成压电元件；二、在所述硅基板和压电元件上面设置一个或多个高分子膜层；三、通过两次光照强度不一样曝光一个或多个高分子膜层，并显影形成液体腔室以及与所述液体腔室连通的喷嘴孔；四、在硅基板上设置供墨通道；所述步骤一包括以下步骤：(一)在所述硅基板上形成绝缘膜；(二)在绝缘膜表面上形成压电元件；所述步骤一还包括以下步骤：A、在硅基板上形成凹部；B、用填充材料来填平凹部；C、在所述填平凹部的硅基板的一个面上形成绝缘膜；D、在所述绝缘膜的上部形成压电元件；在所述步骤一之后还进行以下步骤：a、洗去所述的填充材料。