大口径平面光学元件疵病三维快速暗场检测装置和方法

摘要

一种大口径平面光学元件体内疵病和损伤三维快速暗场检测装置及方法，包括照明光源、起偏器、准直透镜系统、一维电控光源调整支架支撑系统、棱镜、待测的大口径平面光学元件、一维电控平移载物平台、检偏器、成像镜头、CCD、计算机、箱体。本发明利用斯涅尔定律实现坐标的转换，可实现z轴方向的疵病(或损伤)位置检测，有效解决目前对光学元件疵病(或损伤)体内深度检测的难题；极大提高的检测速度，对大口径光学元件更为有效，有效解决目前大口径光学元件检测耗时较长的问题。

主权项

一种大口径平面光学元件体内疵病三维快速暗场检测装置，其特征在于该装置包括照明光源(1)、起偏器(2)、准直透镜系统(3)、电控光源调整支撑系统(4)、长条形直角棱镜(5)、一维电控平移载物平台(7)、检偏器(8)、成像镜头(9)、CCD(10)、计算机(11)和箱体(12)，所述的一维电控平移载物平台(7)置于所述的箱体(12)内，在所述的箱体(12)内的一维电控平移载物平台(7)的正上方的检偏器(8)、成像镜头(8)和CCD(10)构成的成像系统，所述的CCD(10)的输出端与所述的计算机(11)的输入端相连，所述的准直透镜系统(3)包括凸透镜(13)、光阑(14)和柱面镜(15)，沿所述的照明光源(1)的输出光束方向是所述的起偏器(2)、凸透镜(13)、光阑(14)和柱面镜(15)依次排列并安装在所述的电控光源调整支撑系统(4)上，待测大口径平面光学元件(6)放置在所述的一维电控平移载物平台(7)上，所述的长条形直角棱镜(5)的非直角面置于待测大口径平面光学元件(6)上，所述的计算机(11)的输出端与所述的一维电控光源调整支撑系统(4)的控制端相连，所述的电控光源调整支撑系统(4)在所述的计算机(11)的控制下使光源(1)发出的光束经所述的起偏器(2)和准直透镜系统(3)成为线形的线偏振光垂直地经所述的箱体(12)内一维电控平移载物平台(7)上的长条形直角棱镜(5)的直角面上入射所述的大口径平面光学元件体内。