精密测量干涉仪

摘要

本实用新型涉及一种精密测量干涉仪，主要包括分光镜(2)、补偿镜(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)和透镜(6)，所述分光镜(2)、补偿镜(3)和第二反射镜(5)并排设置，所述第一反射镜(4)与第二反射镜(5)垂直设置，第一反射镜(4)与分光镜(2)对应，第一反射镜(4)和透镜(6)分别设置在分光镜(2)的两侧。本实用新型提供的精密测量干涉仪对光源的要求低，可以使用相干性较差的光源设置白光作为光源，并且该结构简单、调节和使用非常方便。

主权项

一种精密测量干涉仪，其特征在于：所述干涉仪主要包括分光镜(2)、补偿镜(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)和透镜(6)，所述分光镜(2)、补偿镜(3)和第二反射镜(5)并排设置，所述第一反射镜(4)与第二反射镜(5)垂直设置，第一反射镜(4)与分光镜(2)对应，第一反射镜(4)和透镜(6)分别设置在分光镜(2)的两侧。