用于投影微影的照明光学单元;ILLUMINATION OPTICAL UNIT FOR PROJECTION LITHOGRAPHY

摘要

用以照明一物场之用于投影微影的一照明光学单元。本文中，第一传输光学单元用以导引从一光源所发出的照明光。照明预设琢面反射镜系设置于第一传输光学单元下游且包含复数个照明预设琢面。该琢面反射镜藉由所照明之照明预设琢面的配置而产生物场的一预设照明。这造成了照明光学单元之照明光瞳的照明，其预先设定物场中的照明角度分布。照明光瞳具有偏离圆形形式的一包络线。照明光瞳系划分为子光瞳区域(30)，其以逐列(Z)及/或逐行(S)方式配置而呈现。这产生了照明光学单元与设置于其下游之投影光学单元之尽可能完全填充的一出射光瞳，以在影像场中成像物场。