| 发明名称 | 含Au碘系蚀刻液的处理方法以及处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够以高回收率从使用完的碘系蚀刻液中回收Au，并且恢复碘(I<sub>3</sub><sup>-</sup>)浓度，实现蚀刻能力的再生的技术。该方法为通过电解回收含Au碘系蚀刻液中的Au，并且恢复碘(I<sub>3</sub><sup>-</sup>)浓度的蚀刻液的处理方法，其中，所述电解在将阴极电位维持在-0.7V以上(基准电位为参照电极Ag/AgCl时)、以及将阳极电位维持在+1.0V以下(基准电位为参照电极Ag/AgCl时)下进行。 | ||
| 申请公布号 | CN105164317A | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201480021400.9 | 申请日期 | 2014.05.20 |
| 申请人 | 朝日浦力环境科技有限公司 | 发明人 | 古坚千绘;小久保広宣 |
| 分类号 | C23F1/46(2006.01)I;C25C1/00(2006.01)I;C25C1/20(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人 | 刘兵;严政 |
| 主权项 | 一种含Au碘系蚀刻液的处理方法，该方法为通过电解回收含Au碘系蚀刻液中的Au，并且恢复碘(I<sub>3</sub><sup>‑</sup>)浓度的蚀刻液的处理方法，其特征在于，所述电解在将阴极电位维持在‑0.7V以上(基准电位为参照电极Ag/AgCl时)、以及将阳极电位维持在+1.0V以下(基准电位为参照电极Ag/AgCl时)下进行。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||