聚焦离子束装置

摘要

可藉更容易的操作而制作保持了品质之均匀性的样品。 FIB镜筒(32)，系对于薄片样品照射聚焦离子束。检测器(13)，系就因照射聚焦离子束而从薄片样品产生之二次粒子作检测。控制部(16)，系根据检测器(13)之检测资讯而形成薄片样品之观察影像。记忆部(18)，系就于第一样品之观察影像上所设定的第一加工区域与第一样品之剖面的位置关系作记忆。控制部(16)，系根据从记忆部(18)所读出之位置关系与第二样品的观察影像上之第二样品的剖面之位置而在第二样品的观察影像上自动设定第二加工区域。