电场／磁场导引之酸扩散;ELECTRIC/MAGNETIC FIELD GUIDED ACID DIFFUSION

摘要

提供将在光微影术所形成接线中的接线边缘/宽度糙度最小化的方法与设备。在一微影术制程期间由一光酸产生剂所产生的随机酸扩散系对于接线边缘/宽度糙度有所贡献。在此揭示之方法于光微影术制程期间应用一电场及/或一磁场。该场施加则控制由该光酸产生剂所产生的酸沿着该接线与间隔方向进行扩散，避免因为随机扩散所造成的接线边缘/宽度糙度。在此也揭示用于进行该等前述方法的设备。