| 发明名称 | 薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材 | ||
| 摘要 | 本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，第一氧化物粉末为CeO<sub>2</sub>粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，第二氧化物粉末为MgO或CaO中的任意一种粉末，或者选自ZnO、MgO和CaO中的两种以上的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粒子和第二氧化物粒子的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的比例为5～85∶95～15，且颗粒的碱度为0.1以上。 | ||
| 申请公布号 | CN102191463B | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201110065635.6 | 申请日期 | 2011.03.14 |
| 申请人 | 三菱综合材料株式会社 | 发明人 | 黛良享;有泉久美子;黑光祥郎 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/22(2006.01)I;B32B9/00(2006.01)I;H01L31/04(2014.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 陈万青;王珍仙 |
| 主权项 | 一种气相沉积材，为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，所述第一氧化物粉末为CeO<sub>2</sub>粉末，所述第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，所述第二氧化物粉末为CaO粉末、或者CaO与ZnO或MgO的两种混合粉末、或者ZnO、MgO和CaO的三种混合粉末，所述第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，所述气相沉积材由含有所述第一氧化物粒子和所述第二氧化物粒子的颗粒构成，所述气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为10～80∶90～20，且所述颗粒的碱度为0.1以上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||