发明名称 |
微机电装置及其应用 |
摘要 |
微机电装置具有:适于制造微电子组件的衬底(1),尤其是半导体衬底。微机械组件集成到衬底(1)中,所述微机械组件具有能够可逆地弯曲的弯曲元件(4),该弯曲元件具有与衬底(1)连接的第一端部(34),并且从该第一端部(34)出发通过自由空间(3)延伸。弯曲元件(4)具有至少一个接片(8),该接片带有两个侧边缘,所述侧边缘的走向(35)通过与侧边缘邻接的、引入弯曲元件(4)中的凹处(6)来限定。为了形成在接片(8)内的均匀区域,从弯曲元件(4)的第一端部(34)出发来观察,接片(8)的侧边缘的相互距离减小,其中在所述均匀区域中在将弯曲元件(4)弯曲时出现的机械应力基本上大小相同。此外,该装置具有对于机械应力敏感的至少一个微电子组件(36),所述微电子组件在接片(8)的均匀区域内集成在其中。 |
申请公布号 |
CN102947216B |
申请公布日期 |
2015.12.16 |
申请号 |
CN201180016329.1 |
申请日期 |
2011.03.15 |
申请人 |
艾尔默斯半导体股份公司;硅微结构有限公司 |
发明人 |
贝恩德·伯查德;迈克尔·德勒;周宁宁 |
分类号 |
B81B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81B3/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 |
代理人 |
周涛;许伟群 |
主权项 |
一种微机电装置,具有:-适于制造微电子组件的衬底;以及-集成到衬底中的微机械组件,所述微机械组件具有能够可逆地弯曲的弯曲元件,该弯曲元件具有与衬底连接的第一端部,并且从该第一端部出发通过自由空间延伸,-其中弯曲元件具有至少一个接片,所述接片带有两个侧边缘,所述侧边缘的走向通过与所述侧边缘邻接的、引入弯曲元件中的凹处来限定,所述凹处包括具有侧壁和底壁的槽,以及-其中为了形成在所述接片内的均匀区域,从弯曲元件的第一端部出发来观察,所述接片的侧边缘的相互距离减小,其中在所述均匀区域中在将弯曲元件弯曲时出现的机械应力基本上大小相同,以及-对于机械应力敏感的至少一个微电子组件,所述微电子组件在所述接片的均匀区域内集成在所述接片中。 |
地址 |
德国多特蒙德 |