| 发明名称 | 等离子体桥式中和一体化的直流离子束光学抛光装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，包括离子源和等离子体中和器，所述抛光装置还包括固定安装于离子源上的盘状盖板，等离子体中和器安装在盘状盖板内端面上，等离子体中和器的喷口正对离子源的离子束的轴线。本发明具有耦合充分、可获得具有高度稳定性的小束径离子束的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN105150048A | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201510344966.1 | 申请日期 | 2015.06.19 |
| 申请人 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 发明人 | 解旭辉;戴一帆;周林;鹿迎;李圣怡;徐明进 |
| 分类号 | B24B13/00(2006.01)I | 主分类号 | B24B13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人 | 赵洪;钟声 |
| 主权项 | 一种等离子体中和一体化的直流离子束光学抛光装置，包括离子源(1)和等离子体中和器(2)，其特征在于：所述抛光装置还包括固定安装于离子源(1)上的盘状盖板(3)，所述等离子体中和器(2)安装在盘状盖板(3)内端面上，所述等离子体中和器(2)的喷口(20)正对离子源(1)的离子束的轴线。 | ||
| 地址 | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院 | ||