一种生产方硅芯的方法

摘要

一种生产方硅芯的方法，取原生多晶硅、原生棒料、碳头料、头尾料、碎多晶、边皮料与颗粒硅混合；将所投物料加热熔融，化料结束后，杂质挥发时间为2.5~3.5h；然后进行拉晶，引晶温度保持在1225~1325℃之间；埚位为15~82mm之间；控制引晶直径的范围4~6mm，引晶长度为120~180mm；头部拉速保持在0.88~0.95mm/min之间，然后进行放肩、等晶、收尾工序；切割方硅芯。使用本发明提供的生产方硅芯的方法，通过科学合理的生产工艺，不但使方硅芯隐裂率由之前的4~5%降低为1.5~2%，而且大大降低了拉晶后硅芯圆棒中的多晶硅芯圆棒比例，整根单晶硅芯圆棒的比例由之前的4%提升为21%。

主权项

一种生产方硅芯的方法，其特征在于包括以下步骤：1）投料 取原生多晶硅、原生棒料、碳头料、头尾料、碎多晶、边皮料与颗粒硅混合，采用磷硅母合金作为掺杂剂，投入石英坩埚中；2）化料 将所投物料加热熔融，化料结束后，杂质挥发时间为2.5~3.5h；3）拉晶 引晶温度保持在1225~1325℃之间；埚位为15~82mm之间；控制引晶直径的范围4~6mm，引晶长度为120~180mm；头部拉速保持在0.88~0.95mm/min之间，然后进行放肩、等晶、收尾工序；4）切割方硅芯 拉晶后形成的硅芯圆棒，经截晶、切割得到方硅芯。