一种类金刚石膜玻璃的制备方法

摘要

本发明涉及一种类金刚石膜玻璃的制备方法，属于玻璃镀膜技术领域。为了解决现有的结合力差和硬度低的问题，提供一咱类金刚石膜玻璃的制备方法，包括将玻璃基片装夹后放入镀膜腔室内，镀膜腔室抽真空后，再通入氩气使生成等离子体，进行等离子清洗；清洗结束后，关闭氩气，将镀膜腔室重新抽真空，然后再通往氩气，同时打开碳靶发射源，并开启脉冲直流电源使产生等离子体，使沉积类金刚石膜；所述类金刚石膜为高sp²键含量类金刚石膜与低sp²键含量类金刚石膜交替沉积而成；沉积结束后，再在其表面上沉积AF膜，得到类金刚石膜玻璃。本发明的方法得到的产品既具有较好的结合力，又具有高耐划伤性和高耐磨性和防指纹和防尘效果及不导电性。

主权项

一种类金刚石膜玻璃的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：A、将玻璃基片装夹后放入真空镀膜机的镀膜腔室内，进行下一步镀膜；B、将镀膜腔室进行抽真空后，再通入氩气使生成等离子体，进行等离子清洗；C、等离子清洗结束后，关闭氩气，将镀膜腔室重新抽真空，然后再通入氩气，同时打开碳靶发射源，并开启脉冲直流电源使产生等离子体，从而使在玻璃基片的表面上沉积类金刚石膜；所述类金刚石膜为高sp²键含量类金刚石膜与低sp²键含量类金刚石膜交替沉积而成；D、类金刚石膜沉积结束后，再在类金刚石膜表面上沉积AF膜，得到相应的类金刚石膜玻璃。