多晶硅铸锭炉高效率加热器

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉高效率加热器，包括设于铸锭炉的坩埚四周的侧部加热器，所述侧部加热器包括四块呈波浪形的石墨电阻，四个石墨电阻的首尾通过连接板固定连接，形成一方形环，所述连接板包括折弯面和位于所述折弯面两侧的连接面，所述折弯面及两个连接面一体折弯成型，两个连接面通过碳碳螺栓分别与相邻的两个石墨电阻固定连接。本实用新型能够有效拓展加热器围成的内部空间，增加多晶硅锭的产量，且可以增加侧部加热器的抗折断能力，还可以调节热场。

主权项

一种多晶硅铸锭炉高效率加热器，其特征在于：包括设于铸锭炉的坩埚四周的侧部加热器(1)，所述侧部加热器包括四块呈波浪形的石墨电阻(11)，四个石墨电阻的首尾通过连接板(12)固定连接，形成一方形环，所述连接板包括折弯面(121)和位于所述折弯面两侧的连接面(122)，所述折弯面及两个连接面一体折弯成型，两个连接面通过碳碳螺栓分别与相邻的两个石墨电阻固定连接。