| 发明名称 | 用于外延反应器的反应室的顶部倾斜部件、反应室和外延反应器 | ||
| 摘要 | 本专利涉及位于外延反应器的石英反应室(1)内部的部件(3)、用于外延反应器的反应室和外延反应器，该部件包括具有正面、背面和两个侧面的水平石英板(30)以及分别在两个侧面处的两个垂直石英壁(31、32)；所述板的前部和/或后部弯曲。用于外延反应器的反应室和外延反应器均包括该部件。优点是：该部件可以改进部件的气流和温度性能。 | ||
| 申请公布号 | CN204874819U | 申请公布日期 | 2015.12.16 |
| 申请号 | CN201520417640.2 | 申请日期 | 2015.06.16 |
| 申请人 | LPE公司 | 发明人 | 温琴佐·奥格里亚里;弗朗西斯科·科里亚;马里奥·普雷蒂;弗兰科·乔瓦尼·普雷蒂 |
| 分类号 | C30B25/08(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人 | 刘谦 |
| 主权项 | 一种位于外延反应器的石英反应室(1)内部的部件(3)，包括具有正面、背面和两个侧面的水平石英板(30)以及分别在所述两个侧面处的两个垂直石英壁(31、32)；其中，所述板的前部和/或后部弯曲。 | ||
| 地址 | 意大利米兰巴兰扎泰 | ||