一种266nm的紫外脉冲固体激光器装置

摘要

本实用新型公开了一种266nm的紫外脉冲固体激光器装置，包括泵浦源、光学耦合系统、掺钕离子的YAG激光晶体、掺Cr⁴⁺离子的YAG激光晶片、输出镜、凸透镜、KTP倍频晶体、聚焦透镜、BBO倍频晶体、分光棱镜。激光器的结构设计简单、系统体积小、坚固，并且节约成本。

主权项

一种266nm的紫外脉冲固体激光器装置，包括泵浦源、光学耦合系统、掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、输出镜、凸透镜、KTP倍频晶体、聚焦透镜、BBO倍频晶体、紫外滤光片，其特征在于：所述掺钕离子激光晶体长度为3.0mm，其前端面镀808nmHT/1064nmHR膜，作为谐振腔的一个镜面，另一面镀1064nmHT膜；所述泵浦源发出的激光通过光学耦合系统耦合至增益介质掺钕离子激光晶体上，掺Cr⁴⁺离子激光晶片为被动调Q元件，紧贴Nd:YAG晶体后面放置，输出镜放置在掺Cr⁴⁺离子激光晶片后面，所述掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片周围设置紫铜散热装置，所述紫铜散热装置紧贴掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片周围设置，掺钕离子激光晶体的一面与输出镜形成谐振腔并在输出镜一端输出1064nm的脉冲基频光；1064nm的激光耦合至KTP倍频晶体实现腔外倍频输出532nm的绿光，再经过BBO倍频晶体获得266nm的激光，所述掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、KTP倍频晶体及BBO倍频晶体周围分别设置紫铜散热装置，所述紫铜散热装置分别紧贴掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、KTP倍频晶体及BBO倍频晶体周围设置，通过分光棱镜进行分光以获得266nm的紫外脉冲激光。