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发明名称
半导体用复合基板的载台基板以及半导体用复合基板
摘要
本发明半导体用复合基板的载台基板4,系包括:由多晶材料构成的基底基板;以及设置于基底基板1上,具有耐药性、单成分且高纯度的非晶层3。
申请公布号
TW201546874
申请公布日期
2015.12.16
申请号
TW104105514
申请日期
2015.02.17
申请人
日本碍子股份有限公司 NGK INSULATORS, LTD.
发明人
井出晃启 IDE, AKIYOSHI;高垣达朗 TAKAGAKI, TATSURO;宫泽杉夫 MIYAZAWA, SUGIO;岩崎康范 IWASAKI, YASUNORI
分类号
H01L21/02(2006.01);H01L27/12(2006.01)
主分类号
H01L21/02(2006.01)
代理机构
代理人
洪澄文
主权项
地址
日本 JP
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