基于可控织构CVD金刚石膜的蓝宝石球罩研磨工具

摘要

一种基于可控织构CVD金刚石膜的小尺寸蓝宝石球罩研磨工具。它主要由工具基体、可控织构CVD金刚石膜涂层镶块、弹性支撑体组成，在镶块基体上沉积有CVD金刚石膜，起研磨作用的金刚石晶粒在镶块的整个表面上分布均匀、致密，研磨效率高。通过控制制备参数可以达到织构可控，制备后镶块表面粗糙度较低，且在镶块与工具基体之间有弹性支撑体，在研磨过程中起到缓冲作用。本发明加工质量高，无应力和划伤，结构简单，制造方便。

主权项

一种基于可控织构CVD金刚石膜的蓝宝石球罩研磨工具，它包括球冠状工具基体（1），其特征在于在球冠状工具基体（1）的表面连接有弹性支撑体（3），弹性支撑体（3）的表面固定有镶块（2），镶块（2）表面沉积有可控织构CVD金刚石膜涂层。