一种高效多晶硅铸锭的制备方法

摘要

本发明公开了一种高效多晶硅铸锭的制备方法，该制备方法使用DSS炉，所述DSS炉包括坩埚、加热器、隔热笼、控温热电偶TC1和测温热电偶TC2，包括以下步骤：(1)当硅料进入熔化阶段时，打开隔热笼，保持隔热笼的开度为5-40mm，控制控温热电偶TC1的温度为1530-1560℃；(2)当坩埚底部未熔化的硅料厚度为30-50mm时，控制控温热电偶TC1的温度为1500-1540℃，使隔热笼的开度扩大5-65mm，并保持隔热笼的开度为40-70mm；(3)当坩埚底部未熔化的硅料厚度为10-20mm时，熔化阶段结束，进入多晶硅长晶阶段，再经退火、冷却得到多晶硅铸锭。该方法可以使籽晶熔化更易控制，熔化界面更加平坦；制成的多晶硅籽晶保留面积更大，晶粒均匀，整锭硅片的平均电池效率可达17.9%以上，效率17.8%以上硅片比例大于80.0%。

主权项

一种高效多晶硅铸锭的制备方法，该制备方法使用DSS炉，所述DSS炉包括坩埚、加热器、隔热笼、控温热电偶TC1和测温热电偶TC2，其特征在于，包括以下步骤：(1) 当硅料进入熔化阶段时，打开隔热笼，保持隔热笼的开度为5‑40mm，控制控温热电偶TC1的温度为1530‑1560℃；(2) 当坩埚底部未熔化的硅料厚度为30‑50mm时，控制控温热电偶TC1的温度为1500‑1540℃，使隔热笼的开度扩大5‑65mm，并保持隔热笼的开度为40‑70mm；(3) 当坩埚底部未熔化的硅料厚度为10‑20mm时，熔化阶段结束，进入多晶硅长晶阶段，再经退火、冷却得到多晶硅铸锭。