用于基于散射术之重叠量测之信号回应度量;SIGNAL RESPONSE METROLOGY FOR SCATTEROMETRY BASED OVERLAY MEASUREMENTS

摘要

本发明呈现用于仅基于所量测训练资料而建立一量测模型之方法及系统。然后，使用该经训练量测模型来直接根据所量测散射术资料计算重叠值。该等量测模型直接接收散射术信号作为输入并提供重叠值作为输出。在某些实施例中，根据设计规则结构之量测来判定重叠误差。在某些其他实施例中，根据专门化目标结构之量测来判定重叠误差。在又一态样中，该量测模型经训练且用以除量测重叠以外亦基于相同或不同度量目标而量测额外所关注参数。在某些实施例中，使用来自多个目标之量测资料、藉由多个度量收集之量测资料或该两种量测资料来进行模型构建、训练及量测。在某些实施例中，一最佳化演算法使量测模型构建及训练程序自动化。