一种用于背钝化太阳电池的叠层膜及其制备方法以及一种背钝化太阳电池

摘要

本发明提供了一种用于背钝化太阳电池的叠层膜，包括依次复合于硅片表面的第一氧化硅层、第二氧化硅层、氮化硅层和第三氧化硅层。本发明提供的背钝化太阳电池的四层叠层膜可以增强钝化效果和内反射效果，提高太阳电池的开路电压和短路电流，提高太阳电池转换效率。该叠层膜实现方式简单，可以降低背钝化太阳电池的生产成本，适合于大规模生产。结果表明，采用本发明提供的用于背钝化太阳电池的叠层膜制备的P型多晶硅背钝化太阳电池的转换效率达到19％以上，开路电压大于或等于645mV，短路电流大于或等于37.69mA/cm²。

主权项

一种用于背钝化太阳电池的叠层膜，其特征在于，包括依次复合于硅片表面的第一氧化硅层、第二氧化硅层、氮化硅层和第三氧化硅层。