一种清洗液体收集装置

摘要

本发明公开了一种清洗液体收集装置，包括进气部分、清洗液体收集部分和气-液分离部分，通过进气部分向清洗液体收集部分通入气体，在气体出口处形成环形气帘，与晶圆表面甩离的清洗液体发生非弹性碰撞，使清洗液体改变运动方向，进入气液收集空腔，并通过气-液分离装置分离排出，可减少液体清洗介质在液体收集结构侧壁处的回溅，防止二次污染的发生，并可同时提高液体清洗介质的回收效率。

主权项

一种清洗液体收集装置，用于晶圆单片清洗设备，其特征在于，包括：清洗液体收集部分，包括一主体，所述主体环绕晶圆单片清洗设备的旋转体设置，所述主体内环绕所述旋转体设有清洗液体收集结构，所述收集结构设有环绕所述旋转体的上部环形气体出口和下部气液收集空腔，所述气体出口朝向所述气液收集空腔设置；进气部分，连通所述气体出口并用于向其通入气体；气‑液分离部分，包括气‑液分离装置，所述气‑液分离装置连通所述气液收集空腔；其中，通过由所述气体出口喷出气体，形成朝向所述气液收集空腔的环形垂直气帘，与由所述旋转体上放置的晶圆表面甩离的清洗液体发生非弹性碰撞，使所述清洗液体改变运动方向，进入所述气液收集空腔，并通过所述气‑液分离装置分离排出。