用于控制外延沉积腔室流量的注入及排放设计

摘要

本文所述的实施方式大体上是关于处理腔室中的流量控制。所述处理腔室可包括流量控制排放器与宽注入器的组合。当多种处理气体进入和离开所述腔室时，所述流量控制排放器与所述宽注入器可提供所述多种气体的受控流量，以及控制已经存在于所述腔室中的所述多种气体。因此，整体的沉积分布可维持得更均匀。

主权项

一种处理腔室，包括：腔室主体；基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述腔室主体内，用于支撑基板，所述基板支撑件大体上限定所述处理腔室的处理区域；及宽注入器，所述宽注入器流体连接于所述处理区域，所述宽注入器为环状并且包括：中心线；多个注入入口；多个注入路径，所述多个注入路径流体连接于所述多个注入入口的至少一个；及多个注入端口，所述多个注入端口流体连接于所述注入路径的至少一个。